微机电系统工程专业在光、机、电技术一体化方面的优势和研究成果为微机电系统技术方面的研究和发展打下了坚实的基础。本系在微纳米和微机电系统如微泵、微传感器、微加速度 ... 全部

微机电工程材料，微机电器件与系统，微机械学，微纳米测量与测试技术，微细加工技术，现代传感技术，精密工程制造基础和光存储技术等。